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MTI Instruments半自動(dòng)計(jì)量系統(tǒng)是一種用于半導(dǎo)體和半絕緣質(zhì)料的臺(tái)式/臺(tái)式半主動(dòng)晶圓測(cè)量體系。基于 MTII 獨(dú)有的推挽電容技術(shù)，MTI Instruments半自動(dòng)計(jì)量系統(tǒng)供應(yīng)完備的晶圓外貌掃描，用于厚度、厚度變更、蜿蜒、翹曲、sori、地位和整體平坦度。用戶界說且合乎 ASTM/SEMI 的掃描模式用于生產(chǎn)完備的 3 維 (3D) 晶圓圖像。

MTI Instruments半自動(dòng)計(jì)量系統(tǒng)定制的數(shù)據(jù)匯報(bào)可用于稽查測(cè)量的每個(gè)晶片的表格數(shù)據(jù)，并疾速、放松地導(dǎo)出到您的電子表格法式。

晶圓規(guī)格直徑：   150 毫米、200 毫米、300 毫米；

質(zhì)料：全部半導(dǎo)體和半絕緣晶片，包含 Si、GaAs、Ge、SiC、InP；

外貌：切割、研磨、蝕刻、拋光、圖案化；

平頭/缺口：全部 SEMI 規(guī)范平頭或缺口；

電導(dǎo)率： P 或 N 型；

特性

怪異的 MTI 電容傳感器，具有雋拔的精確性和可重疊性；

完備的 1000 μm 厚度測(cè)量局限，無需從新校準(zhǔn)；

測(cè)量厚度、TTV、蜿蜒度、翹曲度和地位以及整體平坦度的Windows ?用戶界面；

ASTM 規(guī)范測(cè)量；

SEMI S2-0200 健康和安全合規(guī)計(jì)劃；

SEMI S8-0999 合乎人體工程學(xué)的計(jì)劃；

測(cè)量全部質(zhì)料，包含 Si、GaAs、Ge、InP、SiC ***只有體電阻率小于 20K Ohm/cm；

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